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激光雕刻机:高功率激光器

  • 发布日期:2009-05-06 浏览次数627

    除固体激光器外,能产生高功率激光的激光器还有准分子激光器、气体CO2、半导体激光器以及自由电子激光器等。光子作为能量的载体,亦即利用激光的高功率,在诸多技术领域有重要应用前景。

    (1) 高平均功率准分子激光器的研究

    准分子激光器的发射波长在紫外波段,因此在许多加工技术领域有重要应用。例如,近来发明的光纤光栅紫外侧直写入就是靠准分子激光器完成的。提高器件的功率、压缩线宽、提高相干长度等是准分子激光器研究的重要课题。

    (2) 高平均功率固体板条激光器

    鉴于固体激光器的输出波长只有CO2激光器的十分之一,可聚焦功率大幅度增加,因此发展板状激光器引人注目。这种激光器的输出光束可接近衍射极限,功率已达千瓦以上。技术的关键在于获得大尺寸优质的激光介质及精密光学加工,并给出激光谐振腔的优化设计。

 

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