———机械真空泵、油扩散泵
霓虹灯的制作主要过程有真空的获得和保持，机械真空泵是获得真空的主要设备，在霓虹灯制造过程中，通常采用机械真空泵做为前级泵，把管道内的气体抽到较低气压，一般达到中真空程度，然后用扩散泵做后级泵，在前级泵的工作基础上把气压抽的更低，从而达到高真空和超高真空，达到理想的真空要求。
·基本参数：
1、 抽气速率：机械真空泵单位时间内抽出气体量的大小。如果体积用升，时间用秒，则抽速单位为升/秒，其它还有升/分，米3/小时来表示的，厂家在招牌上标出的抽速是指泵的最大值(数值越小越好)。
2、 极限压强：经过长时间抽气后，机械真空泵所能达的最低压强，此时的真空度为泵的极限真空度（数值越小越好）。
3、最大工作压强：机械真空泵能工作的最高压强，如果工作压强超过这一数值时，机械真空泵将失去工作能力，通常机械真空泵的工作压强范围：
机械真空泵 单级105—1.333帕
双级105—1.333-2帕
油扩散泵 1.333×10-1—1.33×10-6帕
笔者评论：
·机械真空泵:比较好的真空泵国内有名的有四川南光国投集团的真空泵（引进的是瑞士Baizers公司的DVO O16B技术生产）；上海真空泵厂的的真空泵（其超高真空离子泵曾荣获国务院总理亲自签发的嘉奖令和特等将证书）；合资泵有莱宝、阿尔卡特、爱德华的，无论是直联泵，还是皮带泵，无论是国产泵还是合资的、纯进口的，主要技术指标都不相上下，因为它的结构原理决定了它的极限真空度，都在10-2帕左右。莱宝泵极限真空是10-4mbar(10-2帕)，而南光泵也是10-2帕，上海泵也是10-2帕，尽管厂家标的10-2帕，无论进口泵还是国产泵，其实都到不了10-2帕，因为10-2是厂家将泵开很长时间，在泵口的测量值（空载），如果接上系统管（负载），根据系统管道的长短、粗细及管道的密封性，真空度还会发生变化，好的能达到10-1帕（0.1帕）差的可能有几十帕。所以要想获得高真空，必须依靠油扩散泵。
·油扩散泵：扩散泵是霓虹灯制造用来获取“高真空”的关键设备，其原理是通过电炉加热扩散泵内的油，使之变成油分子，将中真空状态下的气体分子顶出管道系统，从而获得高真空。
油扩散泵分为：玻璃扩散泵和金属扩散泵；玻璃扩散泵又分为：玻璃单级泵、玻璃三级泵、玻璃四级泵。
玻璃单级泵玻璃三级泵玻璃四级泵金属扩散泵
名称抽速极限真空优点缺点
玻璃单级泵60升/秒10-2帕造价低易碎加热产生应力
玻璃三级泵60升/秒7×10-4帕造价低易碎加热产生应力
玻璃三级泵130升/秒7×10-5帕造价低易碎多次加热产生应力
